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曝光方式

多點曝光：

*出射光斑≤110mm

*光的不均勻性在φ100mm范圍內(nèi)≤±4%。

*實現(xiàn)真空密著條件下曝光

*曝光時間，通過0.1～999.9秒時間繼電器設(shè)定

*汞燈位置調(diào)節(jié)可通過精密的x、y、z調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)量為x向±5毫米、y向±5毫米、z向±5毫米

*具有風(fēng)扇冷卻裝置

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技術(shù)指標(biāo)

1、配置壹件承片臺。（承片臺具體尺寸可根據(jù)用戶需求制造）

2、分辨率≥1μm ，

3、具備真空吸片功能，

4、具有真空密著和反吹氣的功能，通過調(diào)節(jié)密著真空的大小可以實現(xiàn)硬接觸曝光（密著真空≤-0.05 Mpa）、軟接觸曝光(密著真空在-0.05Mpa～-0.02Mpa之間)和微力接觸曝光（密著真空≥-0.02Mpa）

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主要配置

＊多點光源曝光頭1臺、曝光類型：一次性曝光

＊曝光面積：≥φ100mm? ? ? ? ? ?＊曝光不均勻性：≤±4%

＊曝光強度：≥15mw? ? ? ? ? ? ? ＊曝光分辨率：≤2μm

＊曝光模式：單面曝光? ? ? ? ? ? ＊掩膜版尺寸：5″

＊基片尺寸：100mm×100mm? ? ? ? ＊基片厚度：≤5 mm

＊曝光燈功率：350W? ? ? ? ? ? ? ＊曝光定時：0～999.9秒可調(diào)

＊電源：單相AC 220V 50Hz功耗≤1kW

＊潔凈壓縮空氣壓力：≥0.4Mpa? ? ＊真空度：-0.07Mpa～-0.09Mpa

＊尺寸：700×650×1200 (L×W×H)mm

＊重量：～110kg? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?＊備件：真空泵一臺，：φ8氣管15米