據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，清華大學(xué)申請一項名為“一種光刻機(jī)光柵測量標(biāo)定系統(tǒng)“，公開號CN117367746A，申請日期為2023年9月。

專利摘要顯示，本發(fā)明提供了一種光刻機(jī)光柵測量標(biāo)定系統(tǒng)，涉及光柵測量技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)架、運(yùn)動方向相互獨(dú)立的運(yùn)動系統(tǒng)、平面光柵組件、光柵讀數(shù)頭組件、激光干涉儀組件、跟隨運(yùn)動系統(tǒng)、真空波紋管組件和反射鏡組件，所述真空波紋管安裝在跟隨運(yùn)動系統(tǒng)上，并且位于對應(yīng)的激光干涉儀和反射鏡之間，所述跟隨系統(tǒng)固定在機(jī)架上，并跟隨運(yùn)動系統(tǒng)運(yùn)動；光柵讀數(shù)頭組件和平面光柵組件分別固定在運(yùn)動系統(tǒng)的X向和Y向上。光柵讀數(shù)頭與平面光柵相互配合并實(shí)時反饋被標(biāo)定件X向、Y向直線位移量以及分別繞X軸、Y軸、Z軸的旋轉(zhuǎn)角度，對比光柵讀數(shù)頭和激光干涉儀所測被標(biāo)定件(反射鏡組件和平面光柵組件)的直線位移和旋轉(zhuǎn)角度即可完成標(biāo)定。

文章來源：金融界