清華大學(xué)申請(qǐng)光刻機(jī)光柵測(cè)量標(biāo)定系統(tǒng)專(zhuān)利

據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告，清華大學(xué)申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種光刻機(jī)光柵測(cè)量標(biāo)定系統(tǒng)“，公開(kāi)號(hào)CN117367746A，申請(qǐng)日期為2023年9月。 專(zhuān)利摘 ...