光刻機(jī)是集成電路制造工藝中最重要的設(shè)備之一,其分辨率直接決定了芯片的線寬,線寬越細(xì),芯片的性能和功耗越好。因此,光刻機(jī)公司在集成電路產(chǎn)業(yè)中具有重要地位。
光刻機(jī)公司的分類
EUV光刻機(jī)公司:EUV光刻機(jī)是目前世界上最先進(jìn)的光刻機(jī),其分辨率可達(dá)0.33nm。目前,世界上僅有荷蘭ASML公司能夠量產(chǎn)EUV光刻機(jī)。
ArF浸沒式光刻機(jī)公司:ArF浸沒式光刻機(jī)是目前的主流光刻機(jī),其分辨率可達(dá)0.13nm。目前,世界上有多個(gè)光刻機(jī)公司能夠生產(chǎn)ArF浸沒式光刻機(jī),其中包括荷蘭ASML公司、美國(guó)KLA-Tencor公司、日本Nikon公司、日本Canon公司等。
DUV光刻機(jī)公司:DUV光刻機(jī)是較為成熟的光刻機(jī),其分辨率可達(dá)193nm。目前,世界上有多個(gè)光刻機(jī)公司能夠生產(chǎn)DUV光刻機(jī),其中包括荷蘭ASML公司、美國(guó)KLA-Tencor公司、日本Nikon公司、日本Canon公司等。
光刻機(jī)公司的競(jìng)爭(zhēng)格局
目前,光刻機(jī)市場(chǎng)主要由荷蘭ASML公司主導(dǎo),其市場(chǎng)份額超過90%。ASML公司是EUV光刻機(jī)的唯一供應(yīng)商,在ArF浸沒式光刻機(jī)領(lǐng)域也具有較強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力。
其他光刻機(jī)公司在EUV光刻機(jī)領(lǐng)域仍處于追趕階段,在ArF浸沒式光刻機(jī)領(lǐng)域也面臨著ASML公司的競(jìng)爭(zhēng)。
光刻機(jī)公司的未來發(fā)展
隨著集成電路工藝的不斷發(fā)展,對(duì)光刻機(jī)的需求將不斷增加。EUV光刻機(jī)將成為未來光刻機(jī)的主流,ArF浸沒式光刻機(jī)仍將占據(jù)一定的市場(chǎng)份額。