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2024-12
光刻機(jī)詳解
光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造過程中至關(guān)重要的設(shè)備之一,主要用于將微小的電路圖案從光掩模轉(zhuǎn)移到硅片上的光刻膠層中,從而形成集成電路(IC)的結(jié)構(gòu)。光刻技術(shù)是半導(dǎo)體 ...
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2024-12
mems光刻機(jī)
MEMS光刻機(jī)(Micro-Electro-Mechanical Systems Lithography Machine)是用于制造微機(jī)電系統(tǒng)(MEM ...
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2024-12
7納米的光刻機(jī)
隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷向更小的工藝節(jié)點(diǎn)發(fā)展,7納米(nm)制程成為當(dāng)前主流的先進(jìn)制造技術(shù)之一。為了滿足7納米及以下制程節(jié)點(diǎn)的需求,光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造過程 ...
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2024-12
光刻機(jī)封裝
光刻機(jī)封裝(Lithography Machine Packaging)是指在半導(dǎo)體制造過程中,光刻機(jī)內(nèi)部各個組件的保護(hù)、連接和密封技術(shù)。1. 光刻機(jī) ...
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2024-12
光刻機(jī)的光源
光刻機(jī)的光源是半導(dǎo)體制造過程中至關(guān)重要的組成部分,直接影響到圖案轉(zhuǎn)移的分辨率和制造精度。光刻技術(shù)通過將芯片設(shè)計(jì)圖案從光掩模投射到硅片上的光刻膠層中,而 ...
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2024-12
duv光刻機(jī)制程
DUV光刻機(jī)(Deep Ultraviolet Lithography) 是一種使用深紫外光源的光刻技術(shù),在半導(dǎo)體制造中廣泛應(yīng)用于芯片生產(chǎn)的不同工藝節(jié) ...
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2024-12
微米光刻機(jī)
微米光刻機(jī)(Micron Lithography Machine)是用于微米級別集成電路(IC)和微納米結(jié)構(gòu)制造的精密設(shè)備。隨著半導(dǎo)體制造工藝的不斷進(jìn) ...
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2024-12
immersion光刻機(jī)
浸沒式光刻機(jī)(Immersion Lithography Machine) 是一種利用液體介質(zhì)來提高光刻分辨率的光刻技術(shù)。它是在傳統(tǒng)的干式光刻技術(shù)基礎(chǔ) ...
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2024-12
nxt1980di光刻機(jī)
NXT 1980DI光刻機(jī) 是由荷蘭ASML公司生產(chǎn)的先進(jìn)光刻設(shè)備,屬于其NXT系列中的一款浸沒式光刻機(jī)(Immersion Lithography ...
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2024-12
光電光刻機(jī)
光電光刻機(jī)(Optoelectronic Lithography Machine)是一種結(jié)合了光學(xué)和電子學(xué)技術(shù)的光刻設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光 ...