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2024-07
光刻機:微影技術(shù)的藝術(shù)與科技結(jié)晶
光刻機是當(dāng)今半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中不可或缺的先進設(shè)備,扮演著微電子器件制造的重要角色。作為一種精密的微影技術(shù),光刻機廣泛應(yīng)用于集成電路制造、光學(xué)器件制備 ...
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2024-07
清華大學(xué)申請光刻機光柵測量標(biāo)定系統(tǒng)專利
據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告,清華大學(xué)申請一項名為“一種光刻機光柵測量標(biāo)定系統(tǒng)“,公開號CN117367746A,申請日期為2023年9月。 專利摘 ...